13.56MHz自動匹配器 

概述：匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準確性和可靠性可以很快的

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產(chǎn)品性能


匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準確性和可靠性可以很快的響應負載特性變化。


應用對象


該自動匹配器主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統(tǒng)。

[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]
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