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中圖儀器NS系列探針式薄膜厚度臺(tái)階儀
中圖儀器NS系列探針式薄膜厚度臺(tái)階儀是一款為高精度微觀形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的超精密接觸式儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學(xué)加工等領(lǐng)域。通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級(jí)分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。 NS系列臺(tái)階儀實(shí)物圖:緊湊設(shè)計(jì),高效集成 性能特點(diǎn) 1.......